尹志尧博士：我大胆点，美国半导体设备崛起，大部分靠中国留学生！

2023-08-11 16:30:16 6,131

8月10日，CSEAC第十一届（2023）半导体设备年会在无锡召开。美国政府对中国半导体设备进口的限制，让过去不太“热”的半导体设备产业走向人们关注的中心。

活动现场，华润微、中微半导体、富创精密等CEO为国产半导体设备发声。尹志尧博士在演讲时表示：“美国半导体设备是如何发展起来的？今天我首次斗胆分享，美国半导体设备崛起，大部分靠得就是中国留学生！现在，这些领域的大部分领军人物已经回国，所以美国卡我们一是没道理二是没有好结果！

另外，中微半导体CEO尹志尧博士还总结了美国从2019年开始对中国集成电路限制产业所出的“十五招”。

在美国时间8月9日，美国总统拜登签署行政令设立对外投资审查机制，限制美国主体投资中国半导体和微电子、量子信息技术和人工智能领域，成为限制中国半导体的第十六招。从美国政府的种种限制中不难发现，半导体设备频频出现。这是因为半导体设备是集成电路产业的基石，限制了设备就可以限制行业的进步。

曾在美国半导体行业工作近二十年的尹志尧博士回顾说，半导体设备，除了光刻机以外，大部分是在美国开始开发后来成功的。中国上世纪七八十年代赴美的一些留学生在这些开发中，有的担纲了领衔开发的角色，有的则是作为主要的技术骨干参与其中。尹志尧博士用一页PPT显示，中国赴美留学生参与开发的设备有：CCP等离子刻蚀机、ICP等离子刻蚀机、PECVD设备、LPCVD设备、ALD设备、CMP设备、ECP设备、光学检测设备、电子束检测设备、MOCVD等。

由上，尹志尧博士指出，现在美国政府想用设备来卡我们中国，第一个是完全没有道理，第二个也是没有任何好的结果，因为大部分参与这些设备研发的领军的当年的中国留学生都已经回到中国，他们中的很多人现在是中国本土设备企业的骨干和领导，所以，我们有充分的信心，假以时日，中国一定会发展出有国际竞争力的设备产业。

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