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光刻机工作原理与结构组成全解析：芯片制造的核心设备如何运作？

在半导体制造过程中，光刻机的作用至关重要。作为芯片制造的关键设备，它通过将设计图案精确转移到硅片上来实现微细电路的加工。信息技术的迅猛发展带动了对高性能、高密度集成电路需求的增长，这也推动了光刻技术的不断进步和完善。你是否了解光刻机的结构组成和工作原理呢？现在我们就来一起看看。 一、什么是光刻机 光刻机（Photolithography Machine），又称掩模投影曝光机或步进扫描式曝光机，是利用光学成像原理将掩模板上的图形以缩小比例投射到涂覆有光敏材料（如光刻胶）的硅片表面

2024-12-26 15:52:14 647 #光刻机原理#光刻机的结构#光刻机的发展趋势

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